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            大容量等離子清洗機

            • 更新時間:  2020-06-15
            • 產品型號:  V1000/1000X/1000XS
            • 簡單描述
            • V1000/1000X/1000XS大容量等離子清洗機可變更電極構造提高等離子效果。搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
            詳細介紹

            日本雅瑪拓V1000/1000X/1000XS大容量等離子清洗機 高頻輸出 100~1,000W(V1000)/100~1,000W&1,500W(V1000X/1000XS)
            電極尺寸 280×280mm(V1000) 300×300mm(V1000X) 400×375mm(V1000XS)
            13.56MHz 高頻輸出的離子清洗機,搭載 RIE·DP 雙模式。
            使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號,調取數據簡單,以電子材料為中心,可對應多種用途。


            特征
            ● 可變更電極構造提高等離子效果。
            ● 搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
            ● 可根據需求規格提供定制。
            用途
            ● 硅晶圓的灰化及蝕刻
            ● 基板表面污垢處理
            ● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
            ● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
            ● 自然氧化膜·有機物去除
            ● 界面活性處理
            ● 表面污染物去除

            V1000/1000X/1000XS大容量等離子清洗機的技術規格

            其他產品介紹:YSP600U/2KU等離子清洗機
            高頻輸出 YSP600U:600W YSP2KU:2000W 反應臺尺寸 YSP600U:300×300mm YSP2KU:600×600mm
            樣品傳輸系統為模塊式,便于組合。
            用途
            ● 提高各種材料的粘接性、表面改質處理
            ● 清洗各類基板。
            ● 電子部品、材料表面改質。
            ● 去除有機物和自然氧化膜。
            特點
            ● 體積小,節省空間。
            ● 選用小型腔體,反應效率高。
            ● 更容易嵌入生產線使用。
            ● 可通過操作面板自由切換等離子模式。
            ● 配備冷卻反應臺。


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