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            厭氧高溫氣氛爐

            • 更新時間:  2020-07-24
            • 產品型號:  C1-007/C1-008
            • 簡單描述
            • C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐C1-007用于電子無器件高溫處理工藝,C1-008用于光刻工藝后段,光刻膠固化。
            詳細介紹

            日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐
            C1-007(溫度600℃、氧濃度20ppm)
            ● 用途:電子無器件高溫處理工藝
            ● 高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
            ● 程序運轉功能,有自動/手動兩種操作模式
            ● 快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
            ● 配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等
            ● 在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置


            C1-008(溫度500℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm
            ● 用途:光刻工藝后段,光刻膠固化
            ● 高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下
            ● 程序運轉功能,有自動/手動兩種操作模式
            ● 快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
            ● 配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等全不銹鋼材質
            ● 在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置

            日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐技術規格

            型號C1-007
            溫度范圍 室溫+30~360℃ 
            室溫+50~600℃
            溫度分布精度±4.0℃(at 360℃) 
            ±8.0℃(at 600℃)
            溫度上升時間60min(室溫→360℃) 
            90min(室溫→600℃)
            溫度下降時間 90min(360℃→50℃) 
            120min(600℃→50℃)
            氧濃度20ppm以下
            氧濃度下降時間約45分鐘
            運轉功能定值運轉、程序運轉
            裝備氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等
            內尺寸 W600×D600×H600mm
            電源3相 AC380V
            型號C1-008
            溫度范圍 室溫+30~360℃ 
            室溫+50~500℃
            溫度分布精度±4.0℃(at 360℃) 
            ±8.0℃(a500℃)
            溫度上升時間60min(室溫→360℃)
            90min(室溫→500℃)
            溫度下降時間90min(360℃→50℃)
            120min(500℃→50℃)
            氧濃度 20ppm以下
            氧濃度下降時間約45分鐘
            潔凈度100級
            裝備氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等
            內尺寸W600×D600×H600mm
            電源 3相 AC380V 

             


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